组合传感器今年的出货量或将达到1.23亿，营收或达1.86亿美元；按照此势头发展，组合传感器的市场规模到2015年可达9亿美元。今年MEMS发展动力主要还是来源于消费电子，其中智能手机是首要“功臣”。据Yole报告数据，消费电子约占整个MEMS市场营收的50％，其次是汽车电子和医疗电子领域。
市场热点需求集中在惯性传感器（加速度计、陀螺仪和磁力计）、压力传感器和MEMS麦克风等产品上。
加速度计是消费电子实现创新应用不可或缺的关键元器件。近年来，从游戏机到智能手机，从笔记本电脑到白色家电，很多消费电子产品都利用高精度MEMS加速度计实现了运动控制的用户界面和增强型保护系统的应用。展望未来，3轴加速度计是今后消费电子产品发展的一个方向，有望成为便携应用中的标准配置（目前已经是智能手机标配）。2011年全球加速度计市场规模为5.66亿美元，出货量为10.93亿个。
压力传感器也是未来热门MEMS器件之一，汽车是MEMS压力传感器最大的市场（约占74％）。一辆高端汽车一般都会有上百个传感器，其中就有10个左右的压力传感器。轮胎压力监测系统中应用的压力传感器是未来市场前景最好的。目前，99％的TPMS中采用的压力传感器是基于MEMS技术生产的。2011年压力传感器增长了6％，营收为13亿美元，预计近几年内增长率将达到两位数。
与传统的驻极体比较，MEMS麦克风在体积、耐热、抗震、灵敏度等方面有更佳的表现，且具有非常好的抗射频、抗电磁干扰等特性。优异的产品性能使得MEMS麦克风深受市场欢迎，在短短几年内MEMS麦克风实现快速成长，创下惊人的销售量，成为MEMS器件中最耀眼的明星之一。2011年全球消费类MEMS麦克风市场规模为4.35亿美元，出货量为11.45亿个，预计2015年市场规模增长到7.01亿美元，出货量可达23.89亿个。
除了常见的麦克风、惯性传感器和压力传感器之外，湿度传感器市场也被十分看好。2009年，盛思锐推出了一款当时世界上最小的数字湿度传感器SHT21，引起市场广泛关注，产品主要用于安防监控和节能领域。如果将湿度传感器应用于消费电子领域，主要卖点是对环境舒适度的实时监测，而智能手机就是最好的载体。由于人体对空气湿度的敏感性较差，因此需要通过传感器监测，提醒人们随时补充或降低水分。日本针对湿度传感器的应用开发已经走在了前列，盛思锐的湿度传感器已被应用于日本某知名品牌手机当中。在中国，包括海尔、联想在内的厂商也开始了一些尝试，已经针对农村市场推出了可显示湿度的手机，以帮助农民便捷地了解气候变化。未来还可以加入到老人的手持设备中，提醒他们及时补充水分和调节环境湿度。
