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- URE-2000A型光刻机
- 产品名称:
中国光电URE-2000A型光刻机
产品特点:
◆ 曝光面积:150mm×150mm
◆ 分辨力:0.8-1μm(胶厚2μm的正胶)
◆ 对准精度:0.6μm
◆ 掩模样片整体运动范围:X:6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
◆ 样片尺寸:直径15mm-- 150mm;厚度0.1mm--8mm
◆ 照明均匀性: 3.5%(100mm 范围)...
- 2017-10-03 20:38 []
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苏州拓航机械设备有限公司
[已核实]
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