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“真空炉--实验真空炉--青岛晨立电子有限公司”参数说明
| 是否有现货： | 是 | 认证： | 高新企业 |
| 品牌： | 晨立 | 加工定制： | 是 |
| 最大电压： | 380 | 功率： | 24 |
| 额定温度： | 1080 | 主要用途： | 加热电炉 |
| 产品认证： | 高新企业 | 型号： | CL |
| 规格： | CL | 商标： | 晨立 |
| 包装： | 木箱 | 产量： | 500 |
“真空炉--实验真空炉--青岛晨立电子有限公司”详细介绍
| 试验炉 |
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设备用途：实验炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。 产品描述： ◆软着陆载片装置 软着陆送料装置，避免了SiC桨的遮挡影响，提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。 ◆高精度温度控制 新型炉体设计，提高了温度稳定性；配合高精度温控仪的使用，保证工艺过程中温度的快速稳定。 ◆高性能进口元器件 组合关键件采用进口管件，且为半导体级别；优质的元器件组合，从而保证成膜质量。 主要技术参数： ◆工艺管数量：1-4管 ◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸） ◆结构型式：卧式热壁型 ◆工作温度范围：400～1280℃ ◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm ◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆） ◆气体流量设定精度:±1％F.S ◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s ◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音：≤62dB（A）震动：≤3μm ◆控制方式： 工业微机控制 ◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制 青岛晨立电子有限公司为各大技术院校、试验工程，专业打造试验炉，可根据客户需求定制各种非标实验炉和温控系统。 |
