测量仪器

轮廓仪：

1800d

　　测量分辨率
　　—
　　0.1μm/±2.5mm/0.4μm/10mm/1μm/±25mm
　　
　　X轴指示精度（横向）
　　—
　　±（1＋2L/100）μmL：测量长度（mm）
　　
　　直线度精度
　　（0.05＋1.5L/1000）mm　L＝测量长度（mm）
　　摩尔干涉光尺
　　测量方式
　　Z轴（纵向）
　　差动电压
　　点/直线/圆/部分圆/椭圆/最大点/最小点、距离、坐标差、极坐标差、直交/极坐标差表示
　　
　　交叉要素点直线、直线直线、圆直线、圆圆、直线、椭圆、
　　
　　对称要素（点点、点-圆、点-椭圆、直线-直线、圆-圆、圆-椭圆、椭圆-椭圆）
　　
　　坐标控制（原点设定、X轴设定、平行移动、回转移动。
　　
　　计算结果与设计值比对、镜面反转、形状合成功能、宏功能、自动要素判定、计算点的重复功能、工件轨迹功能、峰值谷值搜寻功能、自动操作记录、回放功能