TS-DX系列等离子蚀刻机

种类：	等离子	类型：	单面
加工定制：	是

本设备通过物理与化学想结合的方法，对很细的线条（亚微米一下)进行刻蚀以形成精细的图形。本设备具有选择比较好、刻蚀速度比较快、重复性好、性价比较高等特点。可刻蚀的材料主要有Ponly-Si、Si、Sio、W、Mo、GaN、GaAs、AI等。
本设备主要应用于微电子、光电子、通讯、微机械、新材料、能源等领域的器件研发和制造。